Целенаправленные ионного пучка обработки (FIBM), также называют целенаправленный ионного пучка фрезерование, представляет собой инструмент для обработки материалов в нанометровом масштабе. , Он позволяет селективного удаления мельчайшие количества вещества с высоким пространственным разрешением точно контролируемым образом, что до сих пор было невозможно.

Focused ионного пучка обрабатывающий инструменты были разработаны в университете и промышленных научно-исследовательских лабораторий за последние 25 лет и были коммерчески доступных начиная с середины 80-х годов. Функционально, инструменты похожи на обычные сканирующий электронный микроскоп (SEM), но интенсивный источник ионов в месте об эмитенте электрона. Imaging, как в сканирования электронный микроскоп, делается путем радикальных луча пиксель на пиксель по всей поверхности образца в шаблоне растровые. Однако в сосредоточена пучок ионов, механической обработки обеих вторичных электронов и вторичные ионы могут быть собраны для формирования изображения. Это обеспечивает дополнительные изображения контраст информацию когда инструмент работает как сканирования ионного микроскопа (СИМ). Осаждения проведения или изоляционный материал на отдельных областях с резолюцией нм также может быть сделано в том же документе. Объединение сосредоточены ионного пучка maching с целенаправленной ионного пучка осаждения (FIBD) обеспечивает средства для ultraprecision производство, модификация и рисунка материалов. Также разработаны инструменты которые обеспечивают двойной электронов и ионов возможности, с использованием электронно-лучевой для изображений и целенаправленный ионного пучка для механической обработки и осаждения.